沸石轉(zhuǎn)輪是將大風量、低濃度的廢氣濃縮到高濃度、小風量的廢氣，從而減少設(shè)備的投入費用和運行成本，提高VOCs廢氣的高效率處理。可分為處理區(qū)、再生區(qū)、冷卻區(qū)，在各個區(qū)內(nèi)連續(xù)運轉(zhuǎn)。含有低濃度VOCs的廢氣通過蜂窩狀沸石時，VOCs成分被吸附在沸石中，凈化后的氣體排放到大氣中,或排放至室內(nèi)進行循環(huán)處理，通過循環(huán)處理，回收熱能。此時,已吸附VOCs的蜂窩沸石連續(xù)旋轉(zhuǎn)，利用少量的加熱空氣在解吸附模塊進行解吸附再生，在此過程中，能夠從低濃度的廢氣中得到高濃縮氣體。

　　沸石轉(zhuǎn)輪裝置的特性：
       1.吸附濃縮好；沸石轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定，可以使得通過設(shè)備的廢氣是地風量高濃度的，從而可以很好的濃縮廢氣。

　　2.安全穩(wěn)定；沸石轉(zhuǎn)輪吸附裝置的材質(zhì)是采用了不易燃的防火材料，安全穩(wěn)定。

　　3.壽命長；沸石轉(zhuǎn)輪吸附濃縮裝置的使用壽命長，轉(zhuǎn)輪的轉(zhuǎn)速穩(wěn)定材質(zhì)先進，可以滿足用戶的長久使用。

　　4.應(yīng)用范圍廣泛；在各種廢氣處理的環(huán)境中，大風量、低濃度的廢氣都可以使用該設(shè)備對廢氣進行提高濃度的處理。

　　沸石轉(zhuǎn)輪之處理單元如下：
（1）機體是由一些特定的固體基材涂布上一層吸附劑粉末組成，基材是以陶瓷或玻璃或活性碳纖維經(jīng)燒結(jié)所做成，其中陶瓷纖維因具備耐高溫、熱穩(wěn)定性高、可水洗、不可燃及耐酸堿的特性而較受廣泛使用，吸附劑的種類則視欲處理的氣體成分而有所不同，一般可采用活性炭、沸石等。

　　（2）基質(zhì)為陶瓷纖維表面涂布一層吸附劑，一般為活性炭或疏水性沸石，制成蜂巢狀圓形轉(zhuǎn)輪，再分為兩個區(qū)域，分別為吸附處理區(qū)及再生脫附區(qū)，但為提升轉(zhuǎn)輪之吸附能力，有時會設(shè)計于兩區(qū)之間多一個冷卻區(qū)，通常吸附區(qū)較大，脫附區(qū)與冷卻區(qū)為兩個較小且面積相等之處理區(qū)域。

　　（3）熱回收設(shè)備：將VOCs燃燒或氧化后之干凈空氣其溫度高達500-700℃，將此部分空氣經(jīng)由熱交換器將熱能加以回收，同時將干凈空氣溫度降低后將其導至轉(zhuǎn)輪脫附區(qū)為轉(zhuǎn)輪進行脫附作用；若溫度太高則轉(zhuǎn)輪可能發(fā)生燃燒，因此進入轉(zhuǎn)輪之溫度不可太高，一般會設(shè)置兩段熱回收設(shè)備并增設(shè)一鼓風機導入新鮮空氣與燃燒后之空氣混合，以控制脫附溫度在180-220℃之范圍內(nèi)。為處理VOCs廢氣，除了沸石吸附濃縮轉(zhuǎn)輪焚化系統(tǒng)外，并可在制程端如光阻涂布機臺或去光阻制程廢氣出口端加裝冷凝器，預先分流處理高沸點VOCs。